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全氟FFKM密封圈在半导体行业的运用

由于这些年国家政策的扶持,以及强大内需的提振。国内的半导体行业步入一个快速发展的新台阶。

半导体制造工艺要求高,流程复杂。就拿 晶圆生产线为例子,这个流程就可以分成7个独立的生产区域:扩散、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜生长,抛光、金属化, 每个环节又分为多个子环节。

如何在如此复杂的生产环节中,确保生产设备各零部件正常工作,密封圈的运用至关重要的。

目前已知广泛运用于半导体领域的材料很多,主要有PTFE四氟材料,AFLAS四丙氟材料,FKM氟橡胶材料,以及FFKM全氟材料。

其中全氟材料应用范围最广,密封可靠性最高,被广泛运用。早些年全氟FFKM材料密封圈一直被美国Dupont所垄断,而这些年由于欧美日同盟关系的松动,以及市场的巨大需求,大量的欧洲,日本公司也将其全氟材料供应给中国,但遗憾的是,目前还无国产全氟材料供应。但国内的全氟FFKM密封圈的价格也已经了大幅度下降。


奥博的 FFKM全氟材料密封圈 凭借其优秀密封性、超洁净性、耐热性、超强的耐化学品性能,成功得运用于半导体行业。

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